Pyrolytický nitrid bóru hrá úlohu v polovodičovom priemysle
Aug 22, 2023
Pyrolytický nitrid bóru (PBN) zohral kľúčovú úlohu v polovodičovom priemysle vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam. PBN je vynikajúci tepelný vodič, stabilný pri vysokých teplotách a vykazuje nízke dielektrické straty. Tieto vlastnosti z neho robia ideálny materiál pre rôzne kritické aplikácie v polovodičovom priemysle.
Po prvé, PBN sa používa pri výrobe epitaxných plátkov. PBN člny uľahčujú rast epitaxných vrstiev tým, že poskytujú stabilnú platformu pre substrát, ktorý dokáže odolávať vysokým teplotám a udržiavať čisté prostredie. PBN tiež vykazuje vynikajúcu tepelnú stabilitu a chemickú odolnosť, čo znižuje kontamináciu epitaxných vrstiev počas rastu.
Po druhé, PBN sa používa na výrobu kremíkových doštičiek. PBN tégliky sa používajú na tavenie a kryštalizáciu kremíka, ktorý je východiskovým materiálom na výrobu kremíkových plátkov. Tieto tégliky vydržia vysokoteplotné gradienty a znížia riziko kontaminácie počas procesu tavenia.
Okrem toho sa PBN používa aj pri výrobe vysokovýkonných tranzistorov. Substráty na báze PBN poskytujú stabilnú a čistú platformu na výrobu vysokokvalitných tranzistorov. PBN substráty môžu tiež zvýšiť výkon tranzistorov znížením parazitnej kapacity a zvýšením tepelnej vodivosti.
Celkovo zohral PBN rozhodujúcu úlohu vo vývoji polovodičového priemyslu. Jeho vynikajúce vlastnosti umožnili výrobu vysoko kvalitných epitaxných vrstiev, kremíkových doštičiek a vysokovýkonných tranzistorov. Keďže dopyt po pokročilých polovodičoch neustále rastie, PBN nepochybne zostane kľúčovým materiálom v tomto odvetví v nasledujúcich rokoch.
