KARBID KRIMIKU KANTILEVER KAŠA
Oblasti použitia: V difúznych peciach a vysokoteplotných oxidačných difúznych peciach používaných v priemysle výroby polovodičov na vykonávanie tepelného rastu a oxidácie kremíkových plátkov je konzolová lopatka kľúčovým komponentom systému nakladania plátkov, aby sa zabezpečila rovnomernosť plátkov a rúrok pece. rovnomerná difúzia a oxidácia. Konzolové lopatky z karbidu kremíka sa vyznačujú vysokou pevnosťou, vysokou čistotou, vysokou tepelnou vodivosťou, žiadnou pórovitosťou, odolnosťou voči kyselinovej a alkalickej korózii, bez kontaminácie pri vysokých teplotách, dobrou stabilitou proti tepelným šokom a vysokou nosnosťou. V kombinácii s koeficientom tepelnej rozťažnosti podobným koeficientu LPCVD povlakov môže použitie konzolových lopatiek z karbidu kremíka v LPCVD výrazne predĺžiť cykly údržby a výrazne znížiť kontamináciu.
Popis
Jednou z hlavných výhod suspenzie karbidu kremíka je jej schopnosť poskytovať konzistentné a jednotné výsledky. Kaša je schopná poskytnúť hladký povrch a vynikajúcu kvalitu povrchu, čím zaisťuje, že obrábané diely sú bez škrabancov, prasklín alebo iných defektov.
Ďalšou výhodou suspenzie karbidu kremíka je, že je šetrná k životnému prostrediu. Kaša neobsahuje žiadne nebezpečné zlúčeniny ani toxické chemikálie, vďaka čomu je bezpečné ju používať a likvidovať.
Okrem toho je suspenzia karbidu kremíka vysoko nákladovo efektívna, pretože výrazne znižuje plytvanie materiálom a čas spracovania. Kaša je schopná odstraňovať materiál rýchlejším tempom ako tradičné techniky brúsenia a leštenia, čím sa zvyšuje účinnosť výrobného procesu.
